主要净化方法：

1.乱流式:

空气通过洁净室内的风管和空气过滤器进入洁净室，空气通过洁净室两侧的隔墙板或高架地板返回。空气流动是非线性的，呈现不规则的湍流或涡流状态。该类型适用于1000-100000级洁净室。

2.层流式：

层流气流沿均匀的直线运动。空气通过过滤器进入房间，覆盖率为百分百，空气通过高架地板或两侧隔墙板返回。这种气流适用于洁净室水平需要设置得更高的环境。一般洁净室等级为1～100级。

它可以分为两种类型

（1） 水平层流式：水平空气从过滤器向一个方向吹出，由对面侧壁的回风系统返回。粉尘随风向室外排放，下游侧污染严重。

（2） 垂直层流式：房间天花板完全覆盖ULPA过滤器，空气自上而下吹气，获得更高的洁净度。过程中产生的粉尘或工作人员产生的粉尘能迅速排出室内，不影响其他工作区域。

3.复合式：

复合式是一种能提供局部超洁净空气的混合型混合型。