洁净厂房设置净化空调系统等的自动监控装置。
洁净室净化空调系统宜选用变频调速控制的风机。
净化空调系统的电加热器应设置无缝、超温断电保护装置。当采用电加湿器时，应设置无水保护装置。
洁净厂房应根据工艺生产要求采取静电防护措施。
洁净室（区）内的防静电地面，其性能应符合下列规定：
地面的面层应具有导电性能，并应保持长时间性能稳定；
地面的面层应采用静电耗电耗能性的材料，其表面电阻率应为1.0x105Ω/~1.0x10¹²Ω/或体积电阻率为1.0x104Ω.cm~
1.0x1011Ω.cm。
地面应设有导电泄放措施和接地构造，其对地泄放电阻值应为1.0x105Ω~1.0x109Ω.
洁净室的净化空调系统应采取防静电接地措施。
洁净室内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施，其中有爆炸和火灾危险场所的设备、管道应符合《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的规定。
防静电接地系统应分别按不同要求设置接地连接端子。在一个房间内应设置等电位的接地网络或闭合的接地铜排环。
在防静电接地系统各个连接部位之间电阻值小于0.1Ω。
洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则，其中直流接地系统不能与交流接地系统混接。直流工作接地的接地干线应单独绝缘敷设，并应使用绝缘屏蔽电缆。