无尘室的浮游微粒子浓度，若用高性能的送风系统即可达到零水平，然而实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，在制造品周边扬起了少许的微粒子，故造成了元件清洁面的粒子污染。

　　无尘室内如何控制微粒子浓度呢?

　　1、 不携入:人、机、料进无尘室不携入微粒子

　　(1)进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等， 再通过风淋室吹淋，高速干净的气流可除去附在衣服表面的粒子，吹淋完毕才能进入无尘室。

　　(2)机器、材料进无尘室前，尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭，经货淋室吹淋或风淋传递窗吹淋后才能进入无尘室。

　　(3)无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有空气过滤器的排气用小型过滤单元于腰间。

　　2、不发生:无尘室内动态环境下机、料的不发生控制

　　在控制大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。

　　3、不储备：

　　现实中人和物品的频繁出入及机台的掣动(动态)，无尘室要想达到动态洁净级别，因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险性。

　　控制气流可防止微粒子累积，但对于带电表面的微粒累积就无法防止。为了防止由静电吸附而引起的微粒附着，通常在无尘室内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于制造品本身的带电，则采用带电程度很少的搬送形态及接触部品材料，并藉由除电装置进 行除电。

　　4、排除

在无法避免大量微粒子发生的机台中，为了不让无尘室内产生微粒子，因此直接做对外排气的动作，即所谓的局部排气。由于导入同量的外气是必要的，但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时，不仅仅是向无尘室外排气，而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。