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净化工程的主要功能是控制产品(如硅片)所接触大气的清洁度、温度和湿度,使产品在良好的环境空间中生产制造,我们称之为洁净室。按照世界惯例,无尘净化水平主要是以每立方米空气中粒径大于分类规范中粒径的颗粒数为标准。也就是说,所谓无尘不是没有一点灰尘,而是控制在极少量的单位。当然,本说明书中符合粉尘规格的颗粒相对于我们常见的粉尘来说是非常小的,但是就光学结构而言,即使是一点点粉尘也会产生非常大的负面影响,所以在光学结构产品的生产中,无尘是必然的要求。
将微尘量控制在0.3以下μ 米每立方米到3500米以下,已达到世界无尘a级标准。目前,芯片级生产加工中使用的无尘规格对粉尘的要求比A级要高。这样的高标准主要用于一些更高层次的芯片生产。微尘量严格控制在每立方米1000粒以内,业内俗称1K级。
洁净室有三种主要用途
空气洁净室:已建成并可投入运行的洁净室(设备)。它拥有所有相关的服务和功能。但是,设备中没有操作员操作的设备。
静态洁净室:功能齐全、设置适当的洁净室(设备),可根据设置使用或正在使用,但设备内无操作人员。
动态洁净室:在正常使用的洁净室中,完善的服务功能、设备和人员;如果需要,可以从事正常工作。
洁净车间和洁净工棚有什么区别?
无尘洁净棚又称洁净棚、100级洁净棚、1000级洁净棚、10000级洁净棚。它是一个由防静电透明塑料布围成的小空间,在湍流无尘的车间空间。由独立的HEPA或ULPA和空调机组组成
1.无尘洁净棚又称洁净棚、100级洁净棚、1000级洁净棚、10000级洁净棚。为了在湍流无尘的车间空间里用防静电透明塑料布形成一个小空间,它采用独立的HEPA或ULPA和空调机组,成为更先进的洁净空间。内部空间高度约2.0米,覆盖面积小于50平方米,四根立柱可配备活动轮,使用灵活,可与空气淋浴器配合使用。
2.无尘洁净棚材料:
无尘洁净棚的框架一般包括:不锈钢方孔型、铁方孔型和铝型材。
洁净棚顶材为:不锈钢板、冷轧钢板、喷塑、防静电网格帘、防静电亚克力板。
洁净送风一般选用FFU层流罩(FFU层流单元)
无尘洁净棚的围护材料一般包括:防静电窗帘、(防静电)亚克力板。
3.洁净棚净化等级选择:
更多的客户会选择1000级或10000级洁净棚,而少数客户会选择100级或10000级洁净棚。综上所述,洁净棚位的选择取决于客户对洁净度的需求,但由于洁净棚相对封闭,如果洁净棚位较低,往往会带来一些副作用:冷量不足,员工在洁净棚内会感到闷,所以我们在与客户沟通的过程中需要注意这一点。
4.洁净棚与洁净车间成本比较:
一般来说,大多数客户都会在无尘室建造洁净棚,但也有一些客户不想单独建造无尘车间。在不考虑空调系统、风淋室、转换窗等净化设备的情况下,无尘洁净棚的成本约为无尘车间成本的40%~60%,这取决于客户对无尘洁净棚材料的选择和洁净棚的大小。清洁面积越大,清洁棚与清洁车间的成本差异越小。
5.无尘洁净棚的优点:
A.施工速度快,安装方便
B.成本低,维护方便
C.易于控制,每个FFU都有自己的风扇;
6.无尘洁净棚的缺点:
A.由于FFU风机过滤单元的广泛使用,洁净棚的噪声可能比较大;
B.FFU有自己的风扇,风扇多,维护频率高;
C.由于空间的空气供应,干净的棚子经常感到闷热.
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